Experimental validation of plasma-surface interaction models in high-power helicon plasma sources

 

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التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف: Del Valle-Gamboa, Juan Ignacio
التنسيق: tesis doctoral
تاريخ النشر:2022
الوصف:Tesis (Doctorado en Ciencias Naturales para el Desarrollo con énfasis en Tecnologías Electrónicas Aplicadas) Instituto Tecnológico de Costa Rica. Universidad Nacional de Costa Rica. Universidad Estatal a Distancia de Costa Rica, Doctorado en Ciencias Naturales para el Desarrollo, 2022.
البلد:RepositorioTEC
المؤسسة:Instituto Tecnológico de Costa Rica
Repositorio:RepositorioTEC
اللغة:Inglés
OAI Identifier:oai:repositoriotec.tec.ac.cr:2238/14406
الوصول للمادة أونلاين:https://hdl.handle.net/2238/14406
كلمة مفتاحية:Plasma helicoidal
Generadores - Plasma - Radiofrecuencua
Erosión
Pulverización
Simulación
Modelos

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