Experimental validation of plasma-surface interaction models in high-power helicon plasma sources

 

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Detalles Bibliográficos
Autor: Del Valle-Gamboa, Juan Ignacio
Formato: tesis doctoral
Data de Publicación:2022
Descripción:Tesis (Doctorado en Ciencias Naturales para el Desarrollo con énfasis en Tecnologías Electrónicas Aplicadas) Instituto Tecnológico de Costa Rica. Universidad Nacional de Costa Rica. Universidad Estatal a Distancia de Costa Rica, Doctorado en Ciencias Naturales para el Desarrollo, 2022.
País:RepositorioTEC
Institución:Instituto Tecnológico de Costa Rica
Repositorio:RepositorioTEC
Idioma:Inglés
OAI Identifier:oai:repositoriotec.tec.ac.cr:2238/14406
Acceso en liña:https://hdl.handle.net/2238/14406
Palabra crave:Plasma helicoidal
Generadores - Plasma - Radiofrecuencua
Erosión
Pulverización
Simulación
Modelos