Experimental validation of plasma-surface interaction models in high-power helicon plasma sources

 

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
מחבר: Del Valle-Gamboa, Juan Ignacio
פורמט: tesis doctoral
Fecha de Publicación:2022
תיאור:Tesis (Doctorado en Ciencias Naturales para el Desarrollo con énfasis en Tecnologías Electrónicas Aplicadas) Instituto Tecnológico de Costa Rica. Universidad Nacional de Costa Rica. Universidad Estatal a Distancia de Costa Rica, Doctorado en Ciencias Naturales para el Desarrollo, 2022.
País:RepositorioTEC
מוסד:Instituto Tecnológico de Costa Rica
Repositorio:RepositorioTEC
שפה:Inglés
OAI Identifier:oai:repositoriotec.tec.ac.cr:2238/14406
גישה מקוונת:https://hdl.handle.net/2238/14406
מילת מפתח:Plasma helicoidal
Generadores - Plasma - Radiofrecuencua
Erosión
Pulverización
Simulación
Modelos