Experimental validation of plasma-surface interaction models in high-power helicon plasma sources
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| 著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | tesis doctoral |
| 出版日付: | 2022 |
| その他の書誌記述: | Tesis (Doctorado en Ciencias Naturales para el Desarrollo con énfasis en Tecnologías Electrónicas Aplicadas) Instituto Tecnológico de Costa Rica. Universidad Nacional de Costa Rica. Universidad Estatal a Distancia de Costa Rica, Doctorado en Ciencias Naturales para el Desarrollo, 2022. |
| 国: | RepositorioTEC |
| 機関: | Instituto Tecnológico de Costa Rica |
| Repositorio: | RepositorioTEC |
| 言語: | Inglés |
| OAI Identifier: | oai:repositoriotec.tec.ac.cr:2238/14406 |
| オンライン･アクセス: | https://hdl.handle.net/2238/14406 |
| キーワード: | Plasma helicoidal Generadores - Plasma - Radiofrecuencua Erosión Pulverización Simulación Modelos |