Experimental validation of plasma-surface interaction models in high-power helicon plasma sources

 

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Библиографические подробности
Автор: Del Valle-Gamboa, Juan Ignacio
Формат: tesis doctoral
Дата публикации:2022
Описание:Tesis (Doctorado en Ciencias Naturales para el Desarrollo con énfasis en Tecnologías Electrónicas Aplicadas) Instituto Tecnológico de Costa Rica. Universidad Nacional de Costa Rica. Universidad Estatal a Distancia de Costa Rica, Doctorado en Ciencias Naturales para el Desarrollo, 2022.
Страна:RepositorioTEC
Институт:Instituto Tecnológico de Costa Rica
Repositorio:RepositorioTEC
Язык:Inglés
OAI Identifier:oai:repositoriotec.tec.ac.cr:2238/14406
Online-ссылка:https://hdl.handle.net/2238/14406
Ключевое слово:Plasma helicoidal
Generadores - Plasma - Radiofrecuencua
Erosión
Pulverización
Simulación
Modelos