Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos
Saved in:
| Author: | |
|---|---|
| Format: | artículo original |
| Status: | Versión publicada |
| Publication Date: | 2013 |
| Description: | Una investigación, denominada Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos y desarrollada en el Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales (CICIMA), de la Universidad de Costa Rica, tuvo como objetivo poder encontrar la relación de los parámetros del magnetrón (presión, potencia y tiempo) con el grosor de formación de las capas delgadas de cobre. Se utilizó el método estadístico de 2K (donde K es el número de parámetros por utilizar en la investigación) y se encontró el númeroposible de combinaciones con los tres parámetros del magnetrón, para luego llevar a cabo las deposiciones y posteriormente las mediciones en el microscopio de fuerza atómica (AFM). |
| Country: | Portal de Revistas TEC |
| Institution: | Instituto Tecnológico de Costa Rica |
| Repositorio: | Portal de Revistas TEC |
| Language: | Español |
| OAI Identifier: | oai:ojs.pkp.sfu.ca:article/707 |
| Online Access: | https://revistas.tec.ac.cr/index.php/investiga_tec/article/view/707 |